(1)仪表使用时,使用环境应满足说明书中规定的环境条件和使用拢术规定,流ZUI大值应在所选仪表程的规定范围内。

(2)为了保证 MFM/MFC可缘工作和维护使用方便,仪表使用时应配套安装适当截止、过滤器,干燥器、单向、减压器和背压等。

(3)由于该仪表容易发生堵塞现象,所以使用中要经常启用“清洗”过程和定期清洗配套过滤器。

(4)使用中进行“清洗”操作时,“清洗”结東,不要直接转入“阀控”位,应先置于“关闭位覺,然后,再转至“控”位。

(5)对于反应系统,建议在 MFM/MFC入口处加装过滤器,出口端加装单向層,以防止异常情况发生时,液体反应物倒流至仪表内使其损坏。

(6)对于常压系统,一般选择减压器和过滤器与其配套,以便保证仪表可运行和控精度。

(7)对于高压系统,应在 MFM//MFC的上游加装减压阀、过滤器,下游加装背压阌(或其他节流装)及压力表,以便保证 MFM/MFC应有的工作压差。

(8)对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体,应特別注意系统的密闭性(检漏时,不要忽视减压器),必要时设计上吹洗旁路,以便进行氮气吹洗或正压保待。

(9)对有高频源的系统,应注意屏慧,并做好接地,一般选择单点接地为宜。

(10)对于高真空系统,应尽量减少气略接头,对须有的接头,要严格密封或采用VCR等接头

(11)对于 MFM/MFC的安装位置,应尽景选择水平位置、并且安装面要水平、安装位置要易于装卸、检、调零。安装时要尽量避免受到撞击,安装固定要安全可靠。

(12)使用中,如果工艺系统复杂或使用特殊气体,仪表的测控系统启用应建立专用的操作规程。

(13)使用中若发现仪表零点偏移时、可通过外罩上的调零孔调整,也可揭开外罩调整,但量程调整电位器不得轻易调整。

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