小流量测量分两种情况，一种是以较高的精度测量流过细小管道的气体或液体；另一种是测量流量非常缓慢的流体的流量。适合用来测量微小流量的常用气体流量计有很多种，例如差压式、浮子式、旋涡式、热式等，其中有些气体流量计既适合测量中、大流量，也适合测量微小流量，而另一些专门为测量微小流量而设计。以下介绍几种比较常见的流量计供参考。

    1、差压式流量计：适合测量小流量的差压式流量计主要是内藏孔板差压式流量计。这种流量计去别于由标准节流装置为传感器的流量计。首先是结构上的差别，内藏孔板是传感器与变送器合为一体。第二个是管径上的差别，内藏孔板适用的管径均小于50mm，典型的管道内径为10mm和20mm。第三个是测量准确度上的差别，内藏孔板可通过实流标定的方法来保证测量准确度，工况条件允许的情况下经过实流标定能达到1.5级的测量准确度。

    2、浮子流量计 ：浮子流量计也可以称为转子流量计，按材料分类主要有玻璃管浮子流量计、金属管浮子流量计。浮子流量计因为具有压力损失较小，测量范围比较大的优势，成为了工业控制中常用的一种流量测量仪表，另外浮子流量计还具有使用方便，兼容性强等优势。特别适宜低流速小流量的介质流量测量。浮子流量计的结构比较简单、读书直观、压力损失小、维修维护方便等特点。浮子流量计适用于测量通过管道直径D<100mm的小流量，经特殊处理后也可以测量腐蚀性介质的流量。

    3、热式气体质量流量计 ：热式气体质量流量计的主要特点是直接测量质量流量无需温压补偿。无活动部件，压力损失小，可靠性高。可测量低流速微小气体流量。要求气体介质干燥洁净，不含水分、油等杂质。插入式热式气体质量流量计同样适用于中、大口径气体流量的测量。热式气体质量流量计的量程比宽500:1，可根据用户实际需要扩展。可实现大管径小流量的测量，小流量下限可测低至流速为0.5Nm/s。